工业类别：	机械工业	种类：	工业设备维修、安装
氮气纯度：	95%～99.999%	氮气量：	1～2000nm3/h
材质：	碳钢	压力：	≤9bar
常压露点：	≤－45℃～－72℃	产量：	200

半导体硅行业制氮机设备维修厂家半导体制氮机应用：半导体和集成电路制造过程的气氛保护，清洗，化学品回收等。制氮机日常保养维修需要注意：1、空压机要定期维护，空滤，油虑，机油要按照说明书定期叫厂家更换。2、冷干机要定时检查冷媒压力，做到及时补充，散热片灰尘要每天用压缩空气吹扫，过滤器滤芯要定期更换，正常是8000H，要看具体情况，压差情况。3、每日打开空气储罐排污口一次，排掉空气中冷凝水。4、每日检查自动排水器，以免堵塞而失去排水作用。若堵塞时，可稍微打开手动阀门，关闭自排阀门再拆下自动排水器，分解清洗。清洗自动排水器时，使用肥皂沫清洗即可。5、制氮机主要检查吸附塔的工作压力，纯度，流量做好记录。6、活性炭过滤器内活性炭一般建议每年更换一次。7、氮分仪定期校准一次，建议半年一次。8、要检查气动阀和电磁阀的灵敏度，气动阀磨损影响氮气纯度，这个属于易损件。9、氨气阀要每年到锅检所校准。以上就是制氮机常见的故障，可供参考。制氮机技术维修指标:空压机压力：0.6-1Mpa（可调）？？？氮气流量：Nm3/h氮气纯度：95%-99.9995%？？？？？？氮气出口压力：0.2-0.85Mpa（按客户需要可调）原料：洁净压缩空气？？？？？？？？制氮机配件更换保养精密过滤器滤芯空气过滤器滤芯：每4000小时更换一次？？？油气过滤器滤芯：每8000小时更换一次油过滤器滤芯：每2000小时更换一次？？？？润滑油：每2000小时更换一次？？？？？压缩空气过滤器C、T、A三级过滤？？？？？每4000小时更换一次：10000/3只？？？？？？？？？？氧分析仪探头：每两年更换一次？

型?号	吸附压力 (MPa)	氮纯度 (%)	产氮量 (m3/Mt.Ht)	氮回收率 (%)(N2/Air)
CMS-240	0.6	99.99	70	≥ 21
		99.9	130	≥ 31
		99.5	190	≥ 40
		99.0	285	≥ 45
		98.0	305	≥ 46
		97.0	370	≥ 48
	0.8	99.99	92	≥ 21
		99.9	180	≥ 31
		99.5	240	≥ 40
		99.0	305	≥ 45
		98.0	365	≥ 46
		97.0	410	≥ 48